第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题（1 / 2）

8n程工艺的专利技术对于a来说如同鸡肋，但对于bs如同神助，掌握后就能跨越1u程工艺，掌握8n程工艺技术。

拥有了193narfi准分子激光器的制造技术和8n程工艺的专利技术，但bs还不能生产自主知识产权的1u程工艺的光刻机。

为了将来不被美国政府卡脖子，未雨绸缪，bs要掌握生产光刻机的三大核心技术：光源系统、光学系统和工作台系统，不断升级换代。

叮嘱邓国辉，bs光刻机光源研究所研究清楚grf准分子激光器的工作原理和制造技术，光刻机光源公司自己生产；叮嘱陈伟长，bs光刻机光学研究所自己研制成功6英寸晶圆和1u程工艺的光学镜头和反射镜头，光刻机光学公司自己生产。

孙健承诺，bs在2年内生产具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机，淘宝控股公司掏钱奖励项目组2万元；在4年内能生产一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线，他从淘宝控股公司持有的bs股份中，拿出2万股奖励给做出重大贡献的科技和生产人员，但在规定时间内，完不成任务，就开始裁员！

奖励和裁员双管齐下，管理层、技术人员和普通员工的压力剧增。

邓国辉拿到arf准分子激光器专利技术，同钱富强仔细研究一番后，如醍醐灌顶，豁然开朗，申请2万元的研发经费，带领光刻机光源研究所按照a提供的技术图纸，消化吸收arf准分子激光器的专利技术……

1995年2月，经过一年半的攻关，光刻机光源公司生产出一台6英寸晶圆和1u程工艺的光刻机。

1995年9月，bs生产了一条有自主知识产权的6英寸晶圆和1u程工艺的半导体生产线，填补了国内技术空白，打开了国内市场，终于抛掉三年巨亏的不利局面，1995年度实现净利润万元。

1996年4月2日，bs拿到公开发行新股的额度，6月11日，在鹏城证券交易所公开发行了万股新股（其中1万股职工股，每股发行价6元，融资873亿元（扣除发行费用，其中8亿元用于研发8英寸晶圆和5n程工艺光刻机，73亿元用于补充公司流动资金。

当时bs研制的6英寸晶圆和8n程工艺的光刻机已经临近尾声。

“邓院长，研究院继续研发8英寸晶圆和5n艺的光刻机。”

“好的，董事长！”

“魏总，公司争取早日生产出一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和8n程工艺的半导体生产线，到时，pa率先订购一条。”

“好的，董事长！”

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“董事长，经过近2年的联合攻关，研究证实，我们用去离子水等手段，保持水的洁净度和温度，使其不起气泡，用去离子水作为介质，虽然光源波长还是用原来的193n但通过去离子水的折射，能使进入光阻的波长明显缩小，使用浸没式技术突破193n长可行，我们如今遇到的最大难题是我们自己制造的光学镜头不能满足突破193n长光刻光学器件的技术要求。”