第128章 锁死芯片生产进程（2 / 2）

然后，气密磁力门开启的时候，陈洋听到了轻微地空气泄压的声音，想起来说工厂为了保证无尘环境，一般都会给内部形成一个相对正压的环境，但是没想到正压给得这么大，艾米利亚那几枪实在是作用微小。

经过了这样一番折腾，还没看到产线已经累得不轻的三人终于进到了晶圆十二A厂内部。

“真高啊！”缇娜没想到晶圆厂内部空间这么高大空旷，还蹦了两下，陈洋连忙说：“你动静小点，别大喊大叫的。高是因为有些机器有十几米高，尤其是光刻机。为了整条产线的自动吊舱能尽可能在一个平面下工作，很多机器的高度都必须要做调整，有些必须要提升，或使用加强梁来安装的。”

很明亮的黄色灯光，589.5nm波长，是由标准钠灯带来的光照，这个波长正好是人眼最为敏感的可视波长，同时还是晶圆硅片不太敏感的区段。光刻说到底还是在曝光，所谓刻，就是以光为刀，在硅片上雕刻出来芯片。所以经过多少年的反复实验，全球的晶圆代工厂都在使用这个标准波长的灯光来照明。

陈洋带着两人跟随芯片生产流程一步步前进，时不时看着半空中繁忙的自动吊舱在轨道上前前后后，运输着各类物品。

还有不少工程师急促地向外走去，按照流程他们需要快速离开厂房进行避险。

生产一块芯片主要分为前工序与后工序。在前工序中，一块大的圆柱形高纯度单晶硅体，先被切割成直径3分米的硅晶圆盘。之后进入“洗净工序”：用纯净水去除硅圆盘上的金属、有机物等残留物。

陈洋仰着头，看着晶圆在 FoUp（天舱系统）内以 25片为一组，在位于机器上方的吊舱高速公路上的晶圆厂周围运送。这一切都是自动协调和自动化的，因此当一台机器上的 FoUp完成时，它会被一个自动吊舱拾取并带到下一台机器，或者放回存储中等待芯片创建的下一阶段。

陈洋看了看吊舱的编号，已经是四位数了，这说明至少有几千个这样的吊舱在半空中自行运转。吊舱“高速公路”延伸了晶圆产线场地的长度，从存储到工厂再到封装。在设计之初，就考虑到路径的自我修复，自我引导。大多数FoUp都是黑色的，以便可以最大限度地减少光线，但有些机器有可以看到的透明窗口。

陈洋对这个厂区并不熟悉，只能根据经验向内摸索，抓紧找到光刻机。

这些在空中的吊舱跑得并不慢，目测比一个成年人在地上跑得快，吊舱汇集的区域就是光刻机的出片区，按照这个原理，陈洋在一台卡车后箱那么大的长方型机器面前停下了脚步，机器里面发出非常奇怪的频率很高的声音。

“嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~”

光刻机的进片盖板居然需要密码才能打开，陈洋直接用蛮力扯下盖板，告诉缇娜：“瞄准那个透镜组，打烂，后面有一个像放映机灯泡一样的东西，也打烂，下面那两个方的用来托举着晶圆的东西，打烂，好了，一台光刻机就废了。”他知道告诉缇娜光源发射器什么透镜组和超精密双工件台说了也是白说，干脆简明扼要点。

结果第一台就发生险情，缇娜的电磁枪的子弹，是一颗钢珠，不知道打在光刻机什么结构上，居然半途反射回来，堪堪擦着陈洋的肩膀过去，兹丹卡连忙把两人推远，她经验丰富，加上乌兹冲锋枪是传统子弹，效果更好。

就这样他们以极快的速度摧毁了6台ASmL3400b光刻机，就在三人快跑着离开厂区的时候，身后的安保开枪了，然后他们前面也传来两声沉闷的枪响，陈洋知道艾米利亚在组织压制，他们三人跑得更快了。

刚汇合到一起，他们发现这下麻烦大了，一群看热闹的大婶围过来。

“你们是真开枪，还是打着好玩的啊，这枪蛮真的，多少钱买的啊，我买给我家小孙子去玩。”